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実用薄膜プロセス
〜機能創製・応用展開〜
[コードNo.09NTS232]

■体裁/ B5判・428頁
■発行/ 2009年 8月 17日
技術教育出版社
■定価/ 51,192円(税込価格)
■ISBNコード/ 978-4-907837-18-1
 
○ 電池(二次電池、燃料電池、太陽電池)・エネルギー・エレクトロニクスに必須技術
○ 薄膜技術を実学として捉え実用薄膜プロセスとして理解する新しい考え方を提示。
○ 実用化を想定して、薄膜作製プロセス(第一編)、発現する機能と応用(第二編)、実用を視野にいれた薄膜作成実例を
  紹介し、詳しく解説(第三編)。
○ 最先端技術を先導する第一線の研究開発者により実用薄膜による機能創製から応用展開まで広く網羅。

発刊の言葉・書評

本書ではまず薄膜を実学として捉え実用薄膜プロセスとして理解する新しい考え方を提示する。つまり、最も重要な薄膜プロセスはバルク材料の分解、輸送、成長であり、その素過程について述べる。このバルクの薄膜素過程の研究開発も最終的な薄膜の実用化を想定する必要がある。つまり、作製された薄膜の機能、実使用時の耐久性および付加価値と費用対効果を考慮した生産性をも視野に入れた薄膜作製技術開発が不可欠である。全体の構成は、薄膜作製のプロセスの中心に第1編を構成し、発現する機能、応用を第2編に集約した。また、第3編には実用を視野にいれた薄膜作成実例を紹介し、詳しく解説した。
本書の著者はいずれも現在最先端技術を先導する第一線の研究開発者であり実用薄膜による機能創製から応用展開までを広く網羅する内容とした。従って、本書は実用薄膜プロセスの基礎的考え方を学ぼうとする初心者の入門書であるとともに研究開発の現場で日々実体験され不可解な現象に遭遇されているベテラン技術者の方々にも十分応えうる内容であると確信している。
「はじめに」より一部抜粋/2009年7月  齋藤 文良、多賀 康訓

編 集

多賀康訓・齋藤文良

執筆者(敬称略) 計24名

多賀康訓中部大学
朝日一大阪大学
中川茂樹東京工業大学
宮崎誠一広島大学
一杉太郎東北大学・KAST
福井孝志北海道大学
鈴木基史京都大学
財満鎮明名古屋大学
浅野種正九州大学
高梨弘毅東北大学
小倉繁太郎神戸芸術工科大学
唐健オプトラン
馬場茂成蹊大学
加地徹豊田中研
北上修東北大学
江刺正喜東北大学
水崎純一郎東北大学
川村純一東北大学
平本昌宏自然科学研究機構
内田聡・瀬川浩一東京大学
宇野毅・田畑仁東京大学
北川雅俊パナソニック

構成および内容

第1編 創製技術

第1章  機能薄膜プロセス技術

第2章  真空蒸着法

第3章  分子線エピタキシ法

第4章  スパッタ技術

第5章  CVD

第6章  PLD


第2編 物性と構造

第1章  機能構造の成長

第2章  形態制御機能薄膜

第3章  半導体薄膜の物性と構造

第4章  誘電体薄膜の物性と構造

第5章  磁性薄膜の物性と構造

第6章  光学薄膜の物性と構造

第7章  力学薄膜の物性と構造

第8章  界面制御


第3篇 応用技術・開発事例

第1章  機能薄膜応用―研究開発法と事例紹介

第2章  化合物半導体デバイスへの応用

第3章  磁気メモリーデバイスへの応用

第4章  センサデバイスへの応用

第5章  固体酸化物燃料電池への応用

第6章  リチウムイオン電池への応用

第7章  有機薄膜太陽電池への応用

第8章  機能性薄膜と色素増感太陽電池への応用

第9章  表面機能化デバイスへの応用

第10章  バイオデバイスへの応用

第11章  FPDへの応用―PDPを事例として



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