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先端産業分野における洗浄技術    
Cleaning Technologies in Various Leading Industries
[コードNo.2010T734]

※ 本書籍はご試読頂けません ※

■監修/ 角田光雄(文化女子大学名誉教授)
■編集/ 日本産業洗浄協議会
■体裁/ B5判 305ページ
■発行/ 2010年 4月 (株)シーエムシー出版
■定価/ 70,200円(税込価格)
■ISBNコード/ 978-4-7813-0216-4

 
★次世代半導体や、液晶、自動車部品の洗浄など、先端産業分野における洗浄技術を豊富に紹介!
★洗浄技術に密接に関わる環境対応問題や法規制についても言及!洗浄技術の決定版!!

刊行にあたって

 洗浄は固体表面が関る界面現象である。そして固体表面は、吸着、触媒作用、電極反応、摩擦などのトライボロジー、電子が主役を演じる応用分野、生命科学の分野などにおける新技術の開発において理解を深めておく必要のある重要な対象である。また資源・エネルギー・環境問題の前進的な解を求めるための鍵にもなる。
 近年になって、表面を観察し定量的な立場から考察を行うことのできる手法や理論が開発され固体表面に関する研究事情が著しく進展した。固体表面の原子配列、化学組成、電子状態、振動状態、表面から内部にわたっての組成や性質の変化などが原子レベルで理解することができるようになった。
 このような技術的背景を基に経験的な技術であった洗浄技術も科学の基本に立って研究・開発を進めることができるようになってきた。固体表面が関るナノサイエンスやナノテクノロジーを完結するためには科学の立場にもとづく洗浄技術の適用が不可欠である。進展した表面科学を取り入れた洗浄評価技術が洗浄技術の開発に大きな力になっている。
 わが国が今後更に大きく発展するための重要な要素である技術が大きく差別化できるものになるためには洗浄技術は最もわれわれに適した技術と考えられる。このような視点で本書を利用していただきたい。
(「はじめに」より一部抜粋)
2010年3月  文化女子大学名誉教授 角田光雄

執筆者一覧

角田光雄文化女子大学名誉教授
佐野貢本多電子(株) 技術部 部長
林田充司アクアサイエンス(株) 開発技術部 部長
星野高明リックス(株) 企画本部 技術企画部 スペシャリストマネージャー
周善寺清隆福岡県工業技術センター 機械電子研究所 研究員
刑部真弘東京海洋大学 海洋工学部 教授
菅野至(株)ルネサステクノロジ 生産本部 技術開発統括部 プロセス開発部 ゲートモジュール開発グループ 主任技師
服部毅Hattori Consulting International 代表
中矢圭一(株)ケンテック 代表取締役社長
野中孝一(株)ジャパンエナジー 石油化学品部 機能化学品担当副部長
山下幸福オルガノ(株) 開発センター 第三開発部 課長代理
峠有利子アマノ(株) アクア商品開発部 主任
小田貴文関東化学(株) 電子材料事業本部 技術部 開発課 係長
大谷哲也旭化成ケミカルズ(株) 機能活性剤技術開発部 主任研究員
宮下雅之ステラ ケミファ(株) 開発部 執行役員 開発部長
久次米孝信ステラ ケミファ(株) 開発部 主任研究員
米山雄二文化女子大学 服装学部 被服管理学研究室 教授
冨田寛(株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター ユニットプロセス技術開発部 主任研究員
前野純一荒川化学工業(株) 機能材料事業部 営業部 部付部長
廣瀬治道芝浦メカトロニクス(株) 技術本部 研究開発グループ 技監
西山岩男(株)半導体先端テクノロジーズ 第三研究部 主管研究員
柳川敬太(株)デンソー 生産技術開発部 主任部員
宮本誠(株)サムスン横浜研究所 DA Lab. EH Group Group長
小田切力日本産業洗浄協議会 専務理事;相模環境リサーチセンター 所長
平塚豊日本産業洗浄協議会 シニアアドバイザー

構成および内容

【総論―洗浄と表面・界面―】(角田光雄)

1表面と界面
2表面張力・界面張力と表面のぬれ
3表面張力・界面張力と乾燥(マランゴニ乾燥)
4洗浄後に表面に付着している水あるいは油の溶剤による置換
5界面活性剤

【第1編:物理的洗浄技術】

第1章超音波応用技術(佐野貢)
1超音波洗浄
2超音波洗浄の歴史
3超音波応用技術の洗浄への利用
4洗浄の機構
4.1超音波とは
4.2キャビテーション
4.3加速度
4.4直進流
5経済的な洗浄システム
6洗浄の方法
7洗浄への周波数の影響
8洗浄スペクトラム
9洗浄液
10洗浄システムの構成品と要素
10.1発振器
10.1.1低周波発振器
10.1.2高周波発振器・中周波発振器
10.2振動及び輻射板
10.3電力密度
10.4音場の均一化
11最適化を図った洗浄
12先端産業分野における洗浄技術
第2章蒸気と水の混合噴流による洗浄技術(林田充司)
1はじめに
2蒸気-水混合噴流の物理的状態
2.1蒸気-水混合噴流の発生方法
2.2蒸気-水混合噴流の物理状態
3混合噴射における物理現象
3.1水膜の形成
3.2衝突による衝撃波の発生
3.3キャビテーションによる衝撃波の発生
3.4せん断力
4蒸気-水混合噴流の熱エネルギー
4.1凝縮時の熱の放出
4.2反応速度
4.3透過速度
5希薄化学物質の混合の利点
6洗浄例
6.1集積回路上のアルミニウム配線
6.2集積回路上のビアホール
6.3その他の洗浄の可能性
第3章マイクロアイスジェットによる精密洗浄(星野高明、周善寺清隆)
1緒言
2MIJの原理
3MIJの噴霧粒子特性
4過冷却水滴と氷核の生成
5洗浄事例
5.1ポリスチレンラテックス粒子
5.2微小金属バリ
5.3微小穴に詰まった砥粒
5.4ガラス切りくず
5.5マイクロドリルに付着した樹脂基板の切屑
5.6磁石に付着した鉄粉
5.7油脂
6MIJ洗浄の特徴
6.1MIJの洗浄対象
6.2シャーベット状アイスによる洗浄効果
6.3氷粒子による洗浄効果
6.4低環境負荷
7MIJ洗浄ユニット
8結言
第4章低圧フラッシング水洗浄器の性能(刑部真弘)
1はじめに
2実験装置および方法
3実験結果
3.1M6ボルトでの圧力上昇実験
3.2M6ボルトでの洗浄実験
3.3異なるサイズのボルトとナットでの洗浄実験
4結論
第5章2流体ジェット洗浄(菅野至)
1はじめに
22流体ジェット洗浄の概要
2.1洗浄メカニズム
2.2洗浄モデルの検証
3基礎評価
4プロセス評価
4.1裏面汚染物除去
4.2微細パターンのダメージ制御
4.3薬液と2流体ジェットを組み合わせた洗浄
52流体ノズルの改良
6先端SOCデバイスへの適用
6.1微細パターンに対する2流体ジェット洗浄の限界
6.2Metal/High-kゲート構造のダメージ評価
7おわりに
第6章超臨界流体を用いた次世代半導体洗浄技術(服部毅)
1はじめに
2トランジスタ形成工程(FEOL)への適用
2.1トランジスタ形成工程での課題
2.2超臨界CO2によるレジスト剥離・洗浄
3配線工程(BEOL)への適用
3.1BEOL洗浄の課題
3.2超臨界CO2によるレジスト剥離・エッチング残渣除去
4ナノデバイス(NEMS)への応用
5大口径ウェーハへの実用化に向けて
5.1超臨界CO2によるパーティクル除去
5.2物理的な補助手段の活用
5.3その他の課題
6おわりに
第7章密閉洗浄装置によるVOC排出、CO2発生の抑制(中矢圭一)
1洗浄剤と洗浄装置の密閉化
1.1洗浄剤と環境汚染
1.2環境汚染への対応
1.2.1代替洗浄剤による対応
1.2.2溶剤のリサイクル―揮発性溶剤と不揮発性洗浄剤
1.2.3洗浄システムと溶剤と環境リスク―ハザード管理からリスク管理へ
2開放型洗浄装置における溶剤排出の抑制
2.1開放型装置での溶剤排出抑制の対策
2.2付属設備による密閉化
3新しい考え方の密閉型洗浄装置
3.1ケンテックPCS(Perfect Closed System)
3.2ケンテック洗浄装置の対応技術
3.2.1洗浄装置の密閉化―溶剤の流れの完全な制御・管理により環境汚染を防止する
3.2.2可燃溶剤に対する安全対策
3.2.3洗浄力の強化
3.2.4安全な蒸気洗浄(特許)
3.2.5完全な乾燥
3.2.6安全な溶剤の再生(精製)
4ケンテックPCS洗浄装置による効果
4.1密閉化によるメリット
4.2高沸点溶剤を常圧で沸点以下の温度で蒸気洗浄・蒸留精製が出来る
4.3CO2発生の少ない装置としての活用
4.4ノンハロゲン不燃溶剤洗浄装置
5ケンテックPCSシステム説明
5.1バッチ型の密閉洗浄装置のシステム説明
5.2連続型の密閉洗浄装置

【第2編:洗浄剤】

第1章産業用洗浄剤の現状(野中孝一)
1はじめに
2洗浄剤の種類と対象汚れ・使用分野
3主要洗浄剤の対象汚れ・使用分野別の出荷状況
3.1水系洗浄剤の出荷状況
3.2準水系洗浄剤の出荷状況
3.3炭化水素系洗浄剤の出荷状況
3.4塩素系洗浄剤の出荷状況
3.5フッ素系洗浄剤の出荷状況
3.6臭素系洗浄剤の出荷状況
3.7アルコール系洗浄剤の出荷状況
4洗浄剤種類別の出荷状況(2007年度実績)
第2章機能水の洗浄分野への応用(山下幸福)
1はじめに
2機能水の種類と用途
3機能水洗浄の効果
3.1酸性酸化性水による金属不純物除去
3.2水素水、窒素水による微粒子除去効果
3.3還元性水を用いたCu配線腐食抑制
3.4オゾン水による有機物除去
4機能水製造装置
5おわりに
第3章アルカリ電解水の洗浄分野への応用(峠有利子)
1はじめに
2アルカリ電解水の性質
2.1アルカリ電解水とは
2.2電解質の選定
2.3アルカリ電解水の組成
3洗浄対象物
4アルカリ電解水の運用方法
4.1基本的な運用方法
4.2廃液のリサイクル
5アルカリ電解水の新たな用途
5.1工業用水としての用途
5.2清掃用水としての用途
6おわりに
第4章次世代半導体製造に対応した電子工業用薬品と機能性薬品(小田貴文)
1はじめに
2電子工業用薬品について
2.1金属不純物について
2.2パーティクルについて
2.3半導体薬品の品質ロードマップを実現するために
3機能性薬品について
3.1新RCA洗浄液について
3.1.1Frontier Cleaner-A01、Frontier Cleaner-A02(いずれも酸タイプ)
3.1.2Frontier Cleaner-B01(アルカリタイプ)
3.2Cu/low-k用ドライエッチング残渣除去液について
3.3Cu/low-k用CMP後洗浄液について
3.3.1CMP-M09、CMP-M10(いずれも酸タイプ)
3.3.2CMP-B01(アルカリタイプ)
4まとめ
第5章フッ素系洗浄剤エルノバVの汚れ分離システムの特長(大谷哲也)
1はじめに
2エルノバVの特長及び基本特性
2.1エルノバVの特長
2.2エルノバVの市販洗浄剤との性能比較
2.3エルノバVの高分子材料に対する影響
2.4エルノバVと蒸気洗浄に求められる特性
2.5エルノバVの蒸気洗浄プロセス
3エルノバV汚れ分離システムの特長について
3.1エルノバV汚れ分離システムの原理
3.2エルノバV汚れ分離の応用例について
3.3汚れ分離システムの装置例
3.4エルノバV汚れ分離システムの原理および連続運転の実例について
3.5各種加工油に対する汚れ分離システムの効果
3.6貧溶媒法と蒸留法の違いについて
4おわりに
第6章フッ素系ウェットエッチング液(宮下雅之、久次米孝信)
1はじめに
2高選択エッチング液
3CMP後洗浄
4ドライエッチング後のポリマー残渣物洗浄液
5最後に
第7章界面活性剤による洗浄(米山雄二)
1界面活性剤の作用
2界面活性剤の種類
3植物原料から製造される界面活性剤
3.1アルコールエトキシレートおよび脂肪酸メチルエステルエトキシレート
3.2アルキルポリグリコシド
3.3アルファスルホ脂肪酸メチルエステル塩
4先端産業における界面活性剤の役割

【第3編:先端産業分野における洗浄技術】

第1章次世代半導体製造における洗浄技術(冨田寛)
1はじめに
2物理洗浄方法の定量解析技術
3二流体洗浄
4枚葉超音波洗浄
4.1キャビテーションのモニタリング方法
4.2パターンダメージ形成モデル
530nm以降の次世代微細パターン向けの洗浄方法とは?
第2章化合物半導体の洗浄技術(角田光雄)
1はじめに
2GaAsのHClおよびNH4OH処理
3GaAs、GaPのHNO3:HF処理
4GaAsのH2SO4:H2O2:H2Oおよび濃HF処理
5GaAsのいろいろな処理方法
第3章実装における洗浄技術(前野純一)
1緒言
2はんだ材質に対応した洗浄方法
3洗浄実施例
3.1ウェーハバンプの洗浄技術
3.2プリント配線板
3.3フリップチップ(FC)実装基板
3.4隙間洗浄の応用編
4おわりに
第4章液晶用基板の洗浄技術(廣瀬治道)
1はじめに:液晶パネルの構造と洗浄の必要性
2清浄度の評価方法
2.1気中・液中パーティクル
2.2接触角
2.3基板上の残留パーティクル
3洗浄のツールとメカニズム
3.1ドライ洗浄ツール
3.1.1エキシマUVユニット
3.1.2APプラズマユニット
3.2枚葉式ウエット洗浄ツール
3.2.1ブラシ洗浄(接触式洗浄)
3.2.2CJ(キャビテーションジェット)
3.2.3MS(メガソニック・超音波洗浄)
4最新洗浄ツール
4.1H/Jツール
4.2H/Mツール
5超大型基板対応の洗浄装置
5.1傾斜搬送プロセス
5.2縦型搬送プロセス
6高精細パネルの洗浄技術:スピン洗浄技術(低温ポリシリコン洗浄技術)
6.1機能水を使用した有機物汚染除去
6.2機能水を使用したパーティクル除去
6.3機能水を使用した金属汚染除去
第5章EUV露光における光学素子の洗浄技術(西山岩男)
1はじめに
2EUVL光学系における汚染対策および洗浄技術の重要性
3EUVL光学系の2大汚染要因とその対策
4酸化系クリーニングによるカーボン除去
5還元系クリーニングによるカーボン除去
6原子状水素によるRu表面酸化膜の還元クリーニング
7まとめ
第6章自動車部品の洗浄技術(柳川敬太)
1はじめに
2洗浄の目的
3洗浄工程設計手順
4洗浄方法概論
5湿式洗浄の環境負荷低減の取り組み
5.1CO2排出量削減(省エネ化)
5.2VOC排出量削減
6環境に優しい洗浄の導入事例
7おわりに
第7章マイクロバブルを用いた環境配慮型洗浄技術(宮本誠)
1はじめに
2従来の洗浄方法の課題とマイクロバブル洗浄の狙い
3環境にやさしい添加剤による高密度マイクロバブルの生成
4マイクロバブルによる油汚れの除去原理
5マイクロバブル洗浄システムとその特長
6マイクロバブルの洗浄効果
7実用化検証
8おわりに

【第4編:洗浄評価技術―いろいろな評価法―】(角田光雄)

1目視判定法
2質量法(秤量法)
3直接表面特性から評価する方法
3.1摩擦係数から求める方法
3.2表面電位法
3.3表面化学反応の応用
3.3.1銅置換法
3.3.2電気めっき法
3.3.3フェリシアン化カリ試験
3.4表面のぬれの性質の変化から評価する方法
3.4.1呼吸法 Breath Test
3.4.2水切り法 Water Break Test
3.4.3スプレーパターン法またはミスト法
3.4.4アトマイザー法 Atomizer Test
3.4.5ぬれ指数法 Spread Wetting Test
3.4.6接触角法 Contact Angle Method
3.5蒸発速度法、EVA法 Evaporative Rate Analysis
3.6表面の物理的な観察方法の応用
4洗浄後表面に残っている汚れを抽出して抽出物の測定から評価する方法
4.1溶剤による抽出
4.2化学薬品による抽出
4.3オメガメーター、イオノグラフ、イオンクロマト法
4.4熱によって抽出した汚れを調べる
4.4.1抽出した汚れをガスクロマトグラフで調べる方法
4.4.2プラズマクロマトグラフ法
4.4.3熱で抽出した汚れを赤外分析法で調べる方法
4.4.4電子衝撃脱離法 ESD(Electron stimulated desorption)
4.5粒子汚れの評価
4.5.1レーザー光散乱法
4.5.2液中パーティクルカウンター法
4.5.3走査型オージェ電子顕微鏡SAM(Scanning Auger electron microscope)
4.5.4フーリエ変換赤外顕微鏡、レーザラマン顕微鏡
4.5.5蛍光顕微鏡
4.5.6すき間および非貫通孔などの洗浄度の評価

【第5編:洗浄技術から見た環境問題―モノづくり現場における国際的な化学物質管理―】
                                               (小田切力)

1要旨
2モノづくりにおける洗浄技術の役割
2.1モノづくりの重要性
2.2「ものづくり基盤技術振興基本法」
2.2.1法律公布の経緯
2.2.2同法の趣旨
2.2.3「ものづくり基盤技術」の定義
2.2.4「ものづくり基盤技術」における“洗浄技術”の位置づけ
3化学物質管理の国際的討議の開始
3.1化学物質の存在
3.2化学物質管理の必要性
3.3化学物質を取り上げた「国連人間環境会議」
4化学物質管理に関する更なる討議
4.1国連環境開発会議
4.2アジェンダ21
5化学物質管理の国際的方向付け
5.1持続可能な開発に関する世界首脳会議
5.2ヨハネスブルグ宣言
5.3ヨハネスブルグ実施計画
5.4実施計画に基づく具体的行動
5.4.1ロッテルダム条約
5.4.2ストックホルム条約
5.4.3SAICM(国際化学物質管理戦略)
5.4.4GHS
6SAICMの概要と国際的動向
6.1SAICMについて
6.1.1背景
6.1.2これまでの経緯
6.2SAICMの関連文書
6.2.1ハイレベル宣言(ドバイ宣言)
6.2.2包括的方針戦略
6.2.3世界行動計画
6.3SAICMアジア太平洋地域会合
6.4第2回国際化学物質管理会議
6.4.1実施状況のレビュー
6.4.2新規の課題
6.4.3ナノテクノロジー及び工業用ナノ材料
6.4.4製品中化学物質
7むすび

【第6編:洗浄工程における法規制】(平塚豊)

1はじめに
2水系洗浄剤システム
3非水系洗浄剤システム
3.1炭化水素系洗浄剤システム
3.2塩素系溶剤洗浄システム
3.3その他の有機溶剤洗浄システム
4準水系洗浄システム



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