TOP セミナー 書籍 社内研修 セミナーQ&A 書籍Q&A お問い合せ 会社概要


ご購入は、画面下の「書籍購入」ボタンから  
ナノインプリントの開発とデバイス応用    
Development of Nanoimprint and Device Applications
[コードNo.2011T815]

※ 本書籍はご試読頂けません ※

■監修/ 松井真二
■体裁/ B5判 282ページ
■発行/ 2011年10月 (株)シーエムシー出版
■定価/ 73,440円(税込価格)
■ISBNコード/ 978-4-7813-0456-4

 
★大好評の前書から6年!第一線で活躍する総勢44名の執筆者によるナノインプリント技術の集大成!!
★電子・光・エネルギー・バイオ・・・広がるデバイス応用と大面積・量産化適用技術を詳述!
★さらなる高精細化・応用展開に向けて、離型問題をはじめとする技術課題への言及を多数収録!

キーワード

リソグラフィ/ロールtoロール/モールド/樹脂/離型剤/モスアイ構造/ディスプレイ/LED/パターンドメディア/太陽電池/燃料電池/マイクロTAS/MEMS/CMOS

刊行にあたって

 1995年のChou教授によるナノインプリント技術の提案から15年が過ぎ、装置開発および関連部材である材料開発、モールド開発等のインフラがかなり整備されてきた。装置価格の安さ、プロセスが簡便かつ10ナノメートルレベルの高解像度、および高スループットである特徴がナノインプリントの様々なデバイスへの量産化適用への魅力である。
 これまでに、微細マイクロレンズ、高効率LEDを達成するためのフォトニクス結晶構造形成、LCD等への高性能反射防止膜等へすでに実応用されており、さらに様々な分野への応用研究が開始されている。最近では、エネルギー分野として、燃料電池の反応場の隔壁や太陽電池の表面にナノインプリントにより凹凸を持たせ効率を上げることが行われている。また、近い将来には、パターンドメディア、LSIの量産適用研究も開始されると期待される。
 本書は、ナノインプリント技術に取り組む初心者から第一線の技術者、研究者のために、最前線の技術者、研究者に、ナノインプリントの基礎と共に現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用について内容をわかりやすく執筆していただいた。
 実際にナノインプリント技術に取り組む際に、必ず参考になる最新の研究成果を網羅しており、本書が国内のナノインプリント技術の発展とナノインプリントを利用した産業創生に役立つものと期待する。
「まえがき」より抜粋

監修者

松井真二兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授

著者一覧

平井義彦大阪府立大学 大学院工学研究科 電子物理工学分野 教授
廣島洋(独)産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター グリーンナノデバイス研究チーム チーム長
姜有志兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
小久保光典東芝機械(株) ナノ加工システム事業部 ナノ加工システム技術部 部長
宮内昭浩(株)日立製作所 日立研究所 主管研究員
栗原健二NTTアドバンステクノロジ(株) 営業本部 第四営業部門 担当部長
流川治HOYA(株) R&Dセンター フェロー
法元盛久大日本印刷(株) 研究開発センター ナノパターニング研究所 主席研究員
三澤毅秀綜研化学(株) NIP製品プロジェクト プロジェクトリーダー
大幸武司東洋合成工業(株) 研究開発本部 感光材研究所 次世代技術研究グループ 主任
三宅弘人(株)ダイセル 研究統括部 コーポレート研究所 機能・要素グループ グループリーダー
川口泰秀旭硝子(株) 中央研究所 主席研究員
池田明代丸善石油化学(株) 研究所 新商品開発室 主任研究員
鈴木正睦日産化学工業(株) 電子材料研究所 新製品研究部 主任研究員
嶋谷聡東京応化工業(株) 開発本部 先端材料開発3部 技師
好野則夫東京理科大学 工学部 工業化学科 教授
小林敬東北大学 多元物質科学研究所
中川勝東北大学 多元物質科学研究所 教授
岡田真兵庫県立大学 大学院理学部
伊丹康雄ダイキン工業(株) 化学研究開発センター 主任研究員
谷口淳東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科 准教授
坂井信支(株)サムスン横浜研究所 ER center AR-2 team 専任研究員
久保祥一東北大学 多元物質科学研究所 助教
小瀧健一スミックス(株) シニア・アプリケーション・アドバイザー
西井準治北海道大学 電子科学研究所 教授
常友啓司日本板硝子(株) 機能性ガラス材料事業部門 研究開発部 グループリーダー
有村聡一郎ローム(株) 研究開発本部 融合デバイス研究開発センター
伊藤嘉則オムロン(株) エンジニアリングセンタ 開発センタ 技術専門職
魚津吉弘三菱レイヨン(株) 横浜先端技術研究所 リサーチフェロー
渡部壮周大日本印刷(株) 研究開発センター オプティカルデバイス研究所 所長
柳沢昌輝住友電気工業(株) 伝送デバイス研究所 主席
生田目卓治旭化成イーマテリアルズ(株) 機能製品事業部 市場開発グループ 主査
和田英之Molecular Imprints, Inc. 日本支店 Director of Applications Engineering
米田郁男(株)東芝 デバイスプロセス開発センター リソグラフィプロセス技術開発部 リソグラフィプロセス技術開発第三担当 研究主務
久保雅洋日本電気(株) システム実装研究所 主任
水野潤早稲田大学 ナノ理工学研究機構 准教授
篠原秀敏早稲田大学 理工学術院 電子光システム学科 助手
尹成圓(独)産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 研究員
鎌田芳幸(株)東芝 研究開発センター 主任研究員
八瀬清志(独)産業技術総合研究所 ナノシステム研究部門 研究部門長
笠原崇史早稲田大学 理工学術院 先進理工学研究科ナノ理工学専攻
庄子習一早稲田大学 理工学術院 教授
横山義之富山県工業技術センター 機械電子研究所 電子技術課 主任研究員

構成および内容

総論 松井真二
1はじめに
2ナノインプリント技術
2.1熱ナノインプリント技術
2.2光(UV)ナノインプリント技術
3デバイス応用
3.1ディスプレイ部材
3.2LED、太陽電池への応用
3.3パターンドメディア
3.4光学部品
3.5バイオ応用
3.6半導体応用
4まとめ

第1編 転写方式

第1章熱ナノインプリント 平井義彦
1はじめに
2加工の基本
2.1高分子樹脂の力学的性質
2.2パターン依存性
3熱ナノインプリントの要素技術
3.1モールド作製技術
3.2モールドの離型と表面処理
3.3装置技術
4熱ナノインプリント技術のシーズと応用
4.1高アスペクト比構造の形成
4.2光学要素、曲面構造の形成
4.3マイクロ・ナノ混在構造の形成
4.4生分解性ブラスチックのナノ加工
4.5ガラス材料のナノ加工
4.6有機太陽電池、有機半導体材料へのナノ加工
4.7金属材料の直接インプリント
4.8リバーサルインプリント法による3次元多層構造の作製
5おわりに
第2章光ナノインプリント 廣島 洋
1はじめに
2光ナノインプリントの概要
3濡れによる樹脂充填
4セルフクリーニング効果
5バブル欠陥対策と新しい光ナノインプリント
第3章室温ナノインプリント 姜 有志、松井真二
1はじめに
2PDMSモールドと液相HSQを用いた室温ナノインプリント
3HSQ転写パターンをマスクとして用いた二層構造体の作製
4SiOx反射防止構造の作製と評価
5PDMSモールドを用いた三次元ナノインプリント
6まとめ
第4章ナノインプリントのシミュレーション技術
1熱ナノインプリントのシミュレーション 平井義彦
1.1はじめに
1.2樹脂の変形解析 (静的解析)
1.3変形の過渡応答(時間依存性)
1.4粘弾性モデルによる大面積解析
1.5粘性流体モデルによる樹脂の流動解析
1.6流体モデルによる大面積解析
2光ナノインプリントのシミュレーション 平井義彦
2.1はじめに
2.2システムの構成
2.3レジスト充填プロセス
2.3.1計算モデリング
2.3.2レジストの充填解析例
2.4UV 照射プロセス
2.4.1計算モデル
2.4.2パターンサイズ依存性
2.5UV硬化プロセス
2.6硬化収縮によるレジストの形状変化と残留応力の計算例
2.7まとめと今後の課題

第2編 装置と関連部材

第5章ナノインプリント装置
1東芝機械 小久保光典
1.1はじめに
1.2ナノインプリント
1.2.1ナノインプリント技術
1.2.2ナノインプリント装置とインプリント結果
1.3おわりに
2日立グループのナノインプリント装置 宮内昭浩
2.1はじめに
2.2熱ナノインプリント装置
2.2.1平行平板方式
2.2.2シートナノインプリント方式
2.3光ナノインプリント装置
2.4まとめ
第6章モールド
1各種材料によるモールド作製技術 栗原健二
1.1はじめに
1.2モールド加工技術
1.3ナノインプリントモールド加工例
1.3.1Siモールド
1.3.2SiCモールド
1.3.3石英モールド・SiO2モールド
1.3.4Ni電鋳モールド
1.3.5炭素系モールド
1.4おわりに
2磁気ディスク用石英モールド 流川 治
2.1はじめに
2.2光ナノインプリント用石英モールドの製法
2.3今後の課題
2.4まとめ
3大日本印刷のモールド技術 法元盛久
3.1はじめに
3.2半導体NGL用モールド開発状況
3.3HDD/パターンドメディア用モールド開発状況
4フィルムモールド 三澤毅秀
4.1はじめに
4.2フィルムモールド「フレフィーモTM」
4.3熱ナノインプリントでの性能評価例
4.4光ナノインプリントでの性能評価例
4.5光式Roll to Roll への応用
4.6まとめ
第7章樹脂
1UVナノインプリント用光硬化性樹脂 大幸武司
1.1はじめに
1.2UV-NIL用光硬化性樹脂の特性評価
1.2.1基本プロセス特性
1.2.2用途別特性
1.3おわりに
2ダイセルのUVナノインプリント樹脂 三宅弘人
2.1はじめに
2.2ダイセルの強み
2.3光(UV)硬化性材料について
2.3.1ラジカル硬化系
2.3.2カチオン硬化系
2.4ダイセルのUVナノインプリント材料開発に向けた取り組み
2.4.1ラジカル硬化性組成物 (NIAC系)
2.4.2カチオン硬化性組成物 (NICT系)
2.4.3ハイブリッド系組成物 (NIHB系)
2.5新規UVナノインプリント材料の提案
2.5.1溶剤溶解型UVナノインプリント樹脂
2.5.2後からインプリント
2.6おわりに
3ナノインプリント量産プロセス用光硬化樹脂 川口泰秀
3.1はじめに
3.2光ナノインプリント用光硬化樹脂(NIF)
3.2.1NIFの特徴について
3.2.2レプリカモールド用NIF-Mシリーズ
3.2.3レジスト用NIF-Rシリーズ
3.2.4永久膜用NIF-Pシリーズ
3.3おわりに
4丸善石油化学のナノインプリント用樹脂 池田明代
4.1はじめに
4.2熱NIL用樹脂:MTR-01
4.3UV-NIL用樹脂:MUR-XRシリーズ
4.4まとめ
5UVナノインプリント材料の屈折率制御 鈴木正睦
5.1はじめに
5.2フィルム用途に対応したUVナノインプリントプロセス
5.3高屈折率UVナノインプリント材料
5.4屈折率1.5付近の材料
5.5低屈折率UVナノインプリント材料
5.6各材料のナノインプリント
5.7おわりに
6ケイ素含有インプリント材料  嶋谷 聡
6.1はじめに
6.2RT-NIL材料
6.3UV-NIL材料
6.4おわりに
第8章離型剤(評価)
1ナノインプリント用耐熱離型剤―400℃に耐えるフッ素系シランカップリング剤― 好野則夫
1.1はじめに
1.2シランカップリング剤の表面改質メカニズム
1.3耐熱離型剤の合成
1.4400℃に耐えるフッ素系シランカップリング剤
1.5まとめ
2光ナノインプリント用離型剤 小林 敬、中川 勝
2.1はじめに
2.2離型剤の種類
2.3離型剤の処理方法
2.4離型剤の評価
2.5離型性劣化の因子
2.6離型剤トリデカフルオロ1,1,2,2-テトラヒドロオクチルトリメトキシシラン(FAS13)
2.7おわりに
3走査型プローブ顕微鏡を用いた離型膜評価 岡田 真、松井真二
3.1はじめに
3.2SPMによる付着力と摩擦力測定方法
3.3実験結果および考察
4ナノインプリント用フッ素系離型剤 伊丹康雄
4.1フッ素系離型剤
4.2表面処理剤オプツールDSX
4.3ナノインプリント用離型剤(石英/シリコンモールド用・ニッケル電鋳用)
4.4離型剤によるモールドの処理方法
4.5離型剤層の厚み分析
4.6最後に
第9章離型不良・課題
1高アスペクト比モールドを用いた離型性評価 谷口 淳
1.1はじめに
1.2高アスペクト比モールドの作製方法
1.3UVナノインプリントによる転写および離型力の測定
1.4作製されたGCの観察結果
1.5転写樹脂の観察および離型力の測定結果
1.6転写特性の評価
1.7おわりに
2離型不良対策―材料の観点から― 坂井信支
2.1離型不良
2.2樹脂剥がれ
2.2.1対策1:下地の洗浄
2.2.2対策2:シランカップリング剤の使用
2.2.3対策3:接着層の導入
2.3パターン部の破壊
2.3.1対策1:パターンデザインの改善
2.3.2対策2:樹脂モールド
2.3.3対策3:UV樹脂の変更
2.4まとめ
第10章ナノインプリントパターン評価
1ナノインプリントパターン評価 久保祥一、中川 勝
1.1はじめに
1.2測長電子顕微鏡(CD-SEM)
1.3反射分光膜厚計
1.4X線反射率測定装置
1.5光学的マクロ検査装置
1.6蛍光顕微鏡
1.7その他の技術
2ナノスケール・パターンのマクロ評価技術 小瀧健一
2.1はじめに
2.2マクロ撮像手法
2.3マクロ手法における感度
2.4マクロ手法による転写性の評価
2.5おわりに

第3編 デバイス応用

第11章光デバイス
1ガラスインプリント法による微細構造光学素子の開発 西井準治
1.1はじめに
1.2ガラスインプリント用モールドの作製と離型膜
1.3ガラスインプリントプロセス
1.4おわりに
2光学素子 常友啓司
2.1はじめに
2.2ゾルゲル法
2.3ゾルゲルナノインプリント法
2.4おわりに
3レンズ応用 有村聡一郎
3.1半導体素子上の光学素子
3.2金型の設計と作製
3.3室温ナノインプリントによるレンズ作製
3.4まとめ
4光学アレイ素子 伊藤嘉則
4.1はじめに
4.2プロジェクター用マイクロレンズアレイ
4.3ポリマー光導波路
4.4柱構造付きハイブリッド無反射構造
4.5まとめ
5モスアイ型反射防止フィルム 魚津吉弘
5.1はじめに
5.2モスアイ型反射防止フィルム
5.3モスアイ型反射防止フィルムを形成するための金型の作製
5.4モスアイフィルムの光インプリント
5.5モスアイ型反射防止フィルムの反射率と映り込み
5.6大型ロール金型を用いた連続賦形
5.7おわりに
6ホログラム 渡部壮周
6.1はじめに
6.2ホログラムの種類
6.3ホログラムの機能
6.4計算機合成ホログラム(CGH : Computer Generated Hologram)
6.4.1計算機合成ホログラムの作製方法
6.4.2CGH再生シミュレーション
6.5おわりに
7半導体レーザへの光ナノインプリントの応用 柳沢昌輝
7.1はじめに
7.1.1光通信市場における半導体レーザ
7.1.2DFB LDの課題
7.2動機と課題
7.2.1ナノインプリント技術の位相シフトDFB LDへの適用
7.2.2課題
7.3作製プロセス
7.3.1DFB LD作製プロセス
7.3.2貫通エッチングの均一性
7.4結果
7.4.1押し付け圧力による影響の評価
7.4.2回折格子形状
7.4.3位相シフトDFB LDの基本特性と均一性
7.4.4位相シフトDFB LDの長期信頼性
7.5結言
8ワイヤグリッド偏光フィルム 生田目卓治
8.1はじめに
8.1.1ワイヤグリッド偏光子とは
8.1.2旭化成のワイヤグリッド偏光フィルム(ASAHIKASEI WGF?)
8.2ナノインプリント技術について
8.3ワイヤグリッド偏光フィルムの特徴
8.3.1広帯域での良好な偏光分離性能
8.3.2非透過偏光の反射&再利用による光利用効率の向上
8.3.3高耐熱性
8.3.4容易な形状加工
8.3.5基材フィルム選択の自由度
8.4課題
8.5最後に
9LED 小久保光典
9.1はじめに
9.2ナノインプリント技術
9.3樹脂モールドを用いた高輝度LED用ナノインプリントプロセス
9.3.1GaN層をエピタキシャル成長させたサファイア基板の形状
9.3.2R&D(試作)対応ナノインプリント装置ST50
9.3.3樹脂モールドを使用したナノインプリントプロセス
9.3.4樹脂モールド製造方法
9.3.5微細形状付与によるLED高輝度化
9.3.6インプリント、ドライエッチング結果
9.4高輝度LED用量産装置
9.4.1高輝度LED用ナノインプリント量産装置 ST50S-LED
9.4.2ST50S-LED用樹脂モールド製造方法
9.4.3ST50S-LEDによる連続インプリント試験
9.5まとめ
第12章電子デバイス
1CMOS 和田英之
1.1はじめに
1.2インプリント・マスク
1.3重ね合わせ精度
1.4欠陥
1.5インプリント・プロセス・インテグレーション
1.5.1Partial Field Imprint
1.5.2Gapless Imprint
1.5.3High Contrast Alignment Marks
1.6まとめ
2CMOS 米田郁男
2.1はじめに
2.2ナノインプリントリソグラフィ技術の現状
2.2.1パターン解像性、ラインエッジラフネス及び寸法均一性
2.2.2重ね合わせ精度
2.2.3処理速度
2.2.4欠陥密度
2.3ナノインプリントリソグラフィの応用事例と今後の技術開発
2.4まとめ
3ナノインプリント技術の実装応用 久保雅洋
3.1はじめに
3.2実装領域への応用に期待されるナノインプリント技術
3.3回路形成技術応用
3.4おわりに
4実装技術 水野 潤、篠原秀敏
4.1はじめに
4.2実験
4.3実験結果
5化学増幅系光硬化性樹脂の熱・光併用インプリント成形法とマイクロスケールデュアルダマシン銅配線製造への応用 尹 成圓
5.1はじめに
5.2デュアルダマシン構造形成用二段Ni電鋳型の作製
5.3SU-8の熱・光併用インプリントプロセス
5.4SU-8の熱・光併用インプリントによるデュアルダマシン構造形成
5.5銅めっきとCMPを併用した銅配線基板作製
5.6まとめ
6パターンドメディア 鎌田芳幸
6.1はじめに
6.2ナノインプリントで作製したガイド溝を用いる配列制御法
6.3自己組織化BPMの作製
6.4まとめと今後の展望
7フレキシブルディスプレイ 八瀬清志
7.1はじめに
7.2マイクロコンタクト印刷法
7.3今後の発展と課題
第13章エネルギーデバイス
1有機太陽電池への応用 平井義彦
1.1はじめに
1.2国内外の研究報告例
1.3まとめ
2燃料電池 宮内昭浩
2.1はじめに
2.2発電原理
2.3試作例
2.4まとめ
第14章バイオデバイス
1細胞培養 宮内昭浩
1.1はじめに
1.2培養特性
1.3まとめ
2マイクロTAS 水野 潤、笠原崇史、庄子習一
2.1はじめに
2.2ナノスプレー一体型ポリマーチップの作製
2.3エレクトロスプレーイオン化実験
2.4まとめ
3バイオ応用 横山義之
3.1はじめに
3.2バイオレジストの微細パターン形成
3.3バイオレジストの温度応答性
3.4バイオチップへの応用例
3.5今後の展開



※ 本書籍はご試読頂けません ※

SSL グローバルサインのサイトシール
FAXでもお申し込みいただけます。FAXお申し込み用紙(PDF)を印刷いただき、必要事項をご記入のうえ
 弊社までご送信ください。(FAX番号は、お申込用紙に印刷されています)
※PDF形式のファイルをご覧頂くための Adobe Reader は、アドビ システムズ社から無償提供されています。
                Adobe Reader 最新版ダウンロードはこちらから
■ お問い合わせの前に『よくあるご質問(書籍)』をご一読下さいませ ■
■ セミナー・講習会のご案内はこちらでございます ■