T.機能水の特性と洗浄等への利用における留意点
1.機能水とは何か?
2.各種機能水の特徴とその評価
(1)強電解水(強酸化水、強還元水)
(2)磁気処理水(磁化水)
(3)電場・電磁波処理水
(4)天然石・セラミックス処理水
(5)活性水素水
(6)その他(オゾン水、ナノバブル水)など
3.機能水の洗浄等への利用における留意点
(1)洗浄に適用する機能水とは
(2)機能の確認について
〜再現性、機能安定性、機能化阻害要因、機能変動要因、機能寿命〜
(3)機能水を利用した洗浄・殺菌のポイント
@薬品使用量の低減と水回収・再利用率の向上について
A対象となる汚れ(付着物)と目的に合った機能水の選定
4.質疑応答
(松井 氏)
U.ガス溶解方式による機能性洗浄水の開発と適用例
1.電子材料(ウェハ、ガラス基板等)向けの洗浄工程の現状と問題点
(1)LSI用シリコンウェハの洗浄
(2)FPD用ガラス基板の洗浄
(3)フォトマスク、ハードディスク等の洗浄
2.ガス溶解方式による機能性洗浄水の効果・メカニズムと適用例
(1)オゾン水による有機物、金属の除去
(2)水素水等を使った超音波洗浄による微粒子の除去
(3)炭酸水による帯電防止
(4)ガス溶解水を活用したトータル洗浄プロセスの例
(5)その他
3.質疑応答
(森田 氏)
V.機能水を利用した汚れ防止・洗浄と防食技術
1.機能水(磁気処理水)の特徴
2.機能水による汚れ防止・洗浄と防食のポイント
(1)メカニズム
(2)効果
(3)使用条件
3.機能水による汚れ防止・洗浄と防食の実際 〜物理方式水処理装置の適用〜
(1)配管の防食、閉塞防止
(2)熱交換器のスケール、スライム付着防止と除去
(3)機械装置の汚れ防止、防食
4.質疑応答
(坂西 氏)(渡辺 氏)
W.機能水を利用した食品の洗浄・殺菌技術
1.機能水(オゾン水、電解水)の特徴と食品の洗浄・殺菌のポイント
(1)オゾン水、電解水の特徴
(2)食品の洗浄・殺菌のポイント 〜従来法との比較〜
(3)洗浄・殺菌の効果
(4)洗浄・殺菌後の微生物挙動と外観品質との関係
2.機能水(オゾン水、電解水)を利用した食品の洗浄・殺菌の実際
〜カット野菜、穀類、水産物、他〜
3.質疑応答
(小関 氏) |