�T.はじめに
〜表面・界面分析技術が材料解析や材料開発に果たす役割〜
�U.表面・界面分析技術の原理と概要
(各種の表面・界面分析技術の原理と概要を基礎から
やさしく解説)
〜目的・状況に合った分析手法の選び方〜
1.電子と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)電子線の発生方法
(2)走査電子顕微鏡(SEM)
(3)透過型電子顕微鏡(TEM)
(4)電子線プローブマイクロアナリシス(EPMA)
(5)オージェ電子分光法(AES)
2.X線と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)X線の発生方法
(2)X線光電子分光法(XPS)
(3)全反射蛍光X線分析法(TXRF)
(4)X線回折法(XRD)
3.イオンと固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)イオンビームの発生方法
(2)イオン散乱分光法(ISS)
(3)二次イオン質量分析法(SIMS)
4.探針の変位を利用した表面分析法
(1)走査トンネル顕微鏡(STM)
(2)原子間力顕微鏡(AFM)
5.基本的なデータ処理
(1)ピーク分離
(2)データ点の平滑化
(3)データ点の微分
�V.表面・界面分析データの解釈
(表面・界面分析技術で得られたデータの解釈方法を事例を
挙げて解説)
〜分析時における間違いやすいケースとその留意点も含めて〜
�W.表面・界面分析技術を用いた最近の材料解析事例
(主として局所領域分析や薄膜分析がどれだけ進歩しているかを、
オージェ電子分光法とX線光電子分光法を例にとって紹介)
〜材料解析の具体的な活かし方(高分子、セラミックス、金属、
半導体等)、材料解析への応用も含めて〜
�X.質疑応答