T.はじめに
〜表面・界面分析技術が材料解析や材料開発に果たす役割〜
U.表面・界面分析技術の原理と概要
(各種の表面・界面分析技術の原理と概要を基礎から
やさしく解説)
〜目的・状況に合った分析手法の選び方〜
1.電子と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)電子線の発生方法
(2)走査電子顕微鏡(SEM)
(3)透過型電子顕微鏡(TEM)
(4)電子線プローブマイクロアナリシス(EPMA)
(5)オージェ電子分光法(AES)
2.X線と固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)X線の発生方法
(2)X線光電子分光法(XPS)
(3)全反射蛍光X線分析法(TXRF)
(4)X線回折法(XRD)
3.イオンと固体の相互作用を利用した表面分析法
(1)イオンビームの発生方法
(2)イオン散乱分光法(ISS)
(3)二次イオン質量分析法(SIMS)
4.探針の変位を利用した表面分析法
(1)走査トンネル顕微鏡(STM)
(2)原子間力顕微鏡(AFM)
5.基本的なデータ処理
(1)ピーク分離
(2)データ点の平滑化
(3)データ点の微分
V.表面・界面分析データの解釈
(表面・界面分析技術で得られたデータの解釈方法を事例を
挙げて解説)
〜分析時における間違いやすいケースとその留意点も含めて〜
W.表面・界面分析技術を用いた最近の材料解析事例
(主として局所領域分析や薄膜分析がどれだけ進歩しているかを、
オージェ電子分光法とX線光電子分光法を例にとって紹介)
〜材料解析の具体的な活かし方(高分子、セラミックス、金属、
半導体等)、材料解析への応用も含めて〜
X.質疑応答