�T.走査型電子顕微鏡の基礎
1.走査型電子顕微鏡の原理・構造
2.走査型電子顕微鏡の種類・特徴
3.他の顕微鏡・分析機器との比較
�U.試料作製・前処理の適切な進め方
1.試料作製・前処理における基礎知識
2.試料作製法
�@試料の載せ方 �A粉末試料の載せ方
�B断面作製法 �C凍結乾燥法
�D分析用試料作製
3.試料作製・前処理における注意点
�V.走査型電子顕微鏡の操作ノウハウ
1.走査型電子顕微鏡の適切な操作手順
�@試料の装着 �A電子銃操作
�B視野移動 �C画像調整
2.最適な観測条件の設定
�@加速電圧の設定 �A収束レンズ電流値の設定
�B対物絞り径の設定 �C作動距離の設定
3.高倍率観察と写真撮影のポイント
�@対物絞りのセンタリング �A非点収差の補正
�B露出時間
4.測長(SEM画像上での寸法測定)
5.ステレオ(立体)画像撮影のポイント
6.報告書の編集
�W.顕微鏡像の観察・解釈のポイント
1.二次電子像
2.反射電子像(組成像、結晶方位像)
3.元素分析(スペクトル、元素マップ)
�X.分析技法の原理とポイント
1.分析技法の原理と種類
�@エネルギー分散型X線分光法(EDS)
�A波長分散型X線分光法(WDS)
�B定量分析
�C元素分布像(元素マップ)
�D結晶方位解析法(EBSD)
2.適切な分析を行うポイント
�Y.よくあるトラブルの原因と対策
1.試料作製・前処理時に関係するトラブルの原因と対策
�@コーティングをしたのにチャージアップ(帯電)が治まらない
�A観察中に画像が動く
�B観察部分が黒くなる
�C試料室を排気したが観察可能にならない
�Dその他(ご質問にお答えします)
2.操作時におけるトラブルの原因と対策
�@高い倍率にするとフォーカスを合わせてもシャープな画像にならない
�A画像がざらざらしていて見にくい
�Bその他(ご質問にお答えします)
3.顕微鏡像の観察・解釈時におけるトラブルの原因と対策
�@立体的な画像だがどこが高くどこが低いのかがわからない
�Aコントラストの強いところがあるがチャージアップかどうかわからない
�Bその他(ご質問にお答えします)
4.分析時におけるトラブルの原因と対策
�@定性分析で含有されているはずの元素が検出されない
�A定性分析で含有されていないはずの元素が検出されている
�B元素分布像(元素マップ)で存在しない部分に存在しているような画像になる
�Cその他(ご質問にお答えします)
�Z.各材料への応用事例
1.材料科学への応用
�@金属材料 �Aセラミックス
�B炭素材料 �C半導体材料
�D高分子材料 �E磁性材料
�F複合材料 �Gその他
2.生物科学への応用
�@細胞 �A菌
�B微生物 �Cその他
�[.試料・状況に応じた走査型電子顕微鏡の適切な選び方
�\.走査型電子顕微鏡の簡単なメンテナンス方法
�].質疑応答
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