T.走査型電子顕微鏡の基礎
1.走査型電子顕微鏡の原理・構造
2.走査型電子顕微鏡の種類・特徴
3.他の顕微鏡・分析機器との比較
U.試料作製・前処理の適切な進め方
1.試料作製・前処理における基礎知識
2.試料作製法
@試料の載せ方 A粉末試料の載せ方
B断面作製法 C凍結乾燥法
D分析用試料作製
3.試料作製・前処理における注意点
V.走査型電子顕微鏡の操作ノウハウ
1.走査型電子顕微鏡の適切な操作手順
@試料の装着 A電子銃操作
B視野移動 C画像調整
2.最適な観測条件の設定
@加速電圧の設定 A収束レンズ電流値の設定
B対物絞り径の設定 C作動距離の設定
3.高倍率観察と写真撮影のポイント
@対物絞りのセンタリング A非点収差の補正
B露出時間
4.測長(SEM画像上での寸法測定)
5.ステレオ(立体)画像撮影のポイント
6.報告書の編集
W.顕微鏡像の観察・解釈のポイント
1.二次電子像
2.反射電子像(組成像、結晶方位像)
3.元素分析(スペクトル、元素マップ)
X.分析技法の原理とポイント
1.分析技法の原理と種類
@エネルギー分散型X線分光法(EDS)
A波長分散型X線分光法(WDS)
B定量分析
C元素分布像(元素マップ)
D結晶方位解析法(EBSD)
2.適切な分析を行うポイント
Y.よくあるトラブルの原因と対策
1.試料作製・前処理時に関係するトラブルの原因と対策
@コーティングをしたのにチャージアップ(帯電)が治まらない
A観察中に画像が動く
B観察部分が黒くなる
C試料室を排気したが観察可能にならない
Dその他(ご質問にお答えします)
2.操作時におけるトラブルの原因と対策
@高い倍率にするとフォーカスを合わせてもシャープな画像にならない
A画像がざらざらしていて見にくい
Bその他(ご質問にお答えします)
3.顕微鏡像の観察・解釈時におけるトラブルの原因と対策
@立体的な画像だがどこが高くどこが低いのかがわからない
Aコントラストの強いところがあるがチャージアップかどうかわからない
Bその他(ご質問にお答えします)
4.分析時におけるトラブルの原因と対策
@定性分析で含有されているはずの元素が検出されない
A定性分析で含有されていないはずの元素が検出されている
B元素分布像(元素マップ)で存在しない部分に存在しているような画像になる
Cその他(ご質問にお答えします)
Z.各材料への応用事例
1.材料科学への応用
@金属材料 Aセラミックス
B炭素材料 C半導体材料
D高分子材料 E磁性材料
F複合材料 Gその他
2.生物科学への応用
@細胞 A菌
B微生物 Cその他
[.試料・状況に応じた走査型電子顕微鏡の適切な選び方
\.走査型電子顕微鏡の簡単なメンテナンス方法
].質疑応答
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