超純水製造技術は、イオン交換樹脂や逆浸透膜(RO膜)といった、様々な要素技術を組み合わせた、システムでの不純物除去技術になります。それぞれの要素技術には、特徴があり、原水の水質や、必要な処理水質によって、それらの要素技術を効率よく組み合わせる必要があります。各々の要素技術についての解説と、様々な用途別の超純水製造システム構成について説明します。超純水の水質管理方法や超純水製造システムの管理・運用方法についても触れます。
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【プログラム】
T.純水・超純水の要素技術
〜基本プロセスの原理・特徴、設計の留意点〜
1.前処理装置
(1)凝集沈殿・凝縮加圧浮上処理
(2)砂濾過処理
(3)活性炭処理
(4)膜処理(MF,UF)
2.1次純水装置
(1)膜処理(RO)
(2)イオン交換処理
(3)電気再生式イオン交換処理
(4)脱気処理
3.サブシステム
(1)イオン交換処理
(2)紫外線殺菌処理
(3)紫外線酸化分解処理
(4)膜処理(UF)
(5)配管
4.排水回収
(1)生物処理
(2)物理化学処理
U.純水・超純水の水質評価と管理方法
1.超純水分析技術・モニタリング技術
(1)分析項目と分析方法
(2)水質監視モニターの種類と特徴
2.超純水の維持・管理方法
(1)日常の管理
(2)定期的なメンテナンス
V.適用用途別純水・超純水製造システムの構成
1.超純水製造システムの歴史
2.医薬製造向け純水製造システム
3.食品製造向け純水製造システム
4.ボイラー給水向け純水製造システム
5.燃料電池・水電解向け純水製造システム
6.液晶製造工場向け超純水製造システム
7.半導体製造工場向け超純水製造システム
W.純水・超純水製造システムの立ち上げと活用・運用方法
1.配管の洗浄/立上げ方法・送水方法
(1)配管洗浄・立上
(2)配管送水方法
2.半導体製造と超純水
3.機能性洗浄水
4.流量可変型 次世代超純水製造システム
X.質疑応答(適宜)
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− 名 刺 交 換 な ど −
セミナー終了後、ご希望の方はお残りいただき、 講師とご受講者間での名刺交換ならびに講師へ個別質問をお受けいたします。
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